主要的電子級氣體有哪些？

我們都知道電子級氣體有一定的危險性，如何保存，都包含哪些種類，和立氣體(上海)有限公司就和大家一同了解一下。

電子級氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險，其危害性被不同區域和不同的工業組織進行了詳細的危險等級分類。對于一個大規模量產的電子工廠，其使用和存儲的電子氣體數量之多可以毫不夸張地被視為擁有“大規模殺傷性”武器庫。任何設計上、施工中、日常運行里存在的隱患都會對工廠、人員和環境帶來巨大的災難。

如何保證電子級氣體的儲存、使用操作，系統的工藝和產品本征設計，在眾多的國際標準規范如SEMI，NFPA，CGA，FM等都有很詳細的規定，目前中國國內也正在起草針對電子特種氣體的標準規范。通常而言，會根據氣體性質和相容性，將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、三氟化氯氣體房等。氣體房規劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對硅烷輸送系統，特別是BSGS系統，因總量較大，應采用隔離式建筑。氣體房和氣柜應采用自動噴淋系統。而三氟化氯遇水反應，需要采用二氧化碳滅火系統。

使用電子級氣體的工廠抽風系統也根據危險品性質分成了普通排風系統(GEX)，酸性排風系統(SEX)，溶劑排風系統(VEX)和氨氣排風系統(AEX)。換鋼瓶時的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。

輸送管道一般采用無縫SS316L EP管。施工采用自動軌道焊接，經保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等，輸送系統（SDS）正在被使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。

氣體偵測系統(GDS)是全廠生命系統（LSS）的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應迅速外，還應具備自檢功能。

電子級氣體目前主要有：硅烷、氨氣、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、八氟環丁烷、甲烷、一氧化二氮、三氯化硼、溴化氫、一氧化碳、氖氣、氪氣等。

電子級氣體種類繁多，多大幾十種，如有您有電子級氣體方面的需求，請電話聯系我們和立氣體(上海)有限公司，歡迎來詢！