常規供氣系統和簡單供氣系統

電子氣體指的是用于半導體、平板顯示、發光二極管、太陽能電池及其它電子產品生產的基礎性源材料，被普遍的應用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應用范圍包括電子行業、太陽能電池、移動通訊、汽車導航及車載音像系統、航空航天等諸多領域?；谕顿Y規模和產品檔次的不同的實際要求，工業界對電子氣體輸送系統基本有三類需求，之前和大家分享了大規模供氣系統，接下來和立和大家分享常規供氣系統和簡單供氣系統。

2021-12-23 09:35:16 和立氣體（上海）有限公司

常規供氣系統

常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產線，發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。它們的投資規模中等，生產線可能是二手設備，對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節省投資。
常規供氣系統的大宗普通氣體多建立現場氣站，采用現場液體儲罐（LIN, LOX, LAR）或集裝格供應方式。氣體由管路系統輸送至廠房，直接開三通送至用氣點。
特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣吹掃；支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風系統根據氣體性質進行分類。
簡單供氣系統
簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構等。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低，生產和管理人員欠缺安全意識。

由于氣體流量小，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架，配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統，有些甚至用單瓶系統。共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊。共用一個抽風系統。系統通常存在安全隱患。

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