氣體工業名詞,半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。那么
電子級氣體又是什么?和立氣體(上海)有限公司為大家來說一下,目前的規模如何?
電子級氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規模集成電路)級,VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。
一般5N以上的就可以稱為電子級的了,5N是5個9的意思,就是99.999%,電子級氣體可以到8N~10N,都是現場純化的,罐子里也就到7N電子級是指用在半導體行業的,就是做硅片的和硅片上做電路的那種。
近幾年來,智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣體市場需求量明顯增長,
電子級氣體的國產化已是大勢所趨。據了解,我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳"有價無貨"時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。
電子級氣體的發展增長還是比較明顯的,而且發展趨勢有目共睹,如有電子級氣體需求,請聯系和立氣體(上海)有限公司!